芯片制造这一行当里,光刻胶和光刻机是绑定的关系。
硅晶圆上涂好光刻胶,光刻机把光线投影上去,借着光学化学反应,电路图就印在了晶圆上,芯片也就由此诞生。
光线得配对应的光刻胶,混用不来。胶的质量好坏,直接挂钩芯片良率。
所以光刻胶分G线/I线、KrF、ArFi、EUV这些档次,跟光刻机分类差不多,应用上也严格对应,没法跨品类乱套。
全球光刻胶市场,日本一家独大,份额占了80%。越高端的领域,日本占比越高。像EUV光刻胶,目前只有日本能产。
中国光刻胶国产化率一直偏低。预计到2025年,整体国产化率大概在28%左右。而且越是高端产品,国产比例越低。
看数据图就能明白,最低端的G线I线,国产化率能有65%。到了高端浸润式ArFi,只剩3%不到。至于EUV,国产化率是0。
还要注意的是,即便国产化率到了28%,看似国内能造些先进的ArF光刻胶了,但生产线设备和原料大多还得靠进口。这意味着,还没做到真正的独立自主。
大家心里都盼着,国产光刻胶能实现全流程100%自主可控。从原料到设备全搞定,才能真正避开被卡脖子的风险。
现在,终于有企业拿下了这条全流程自主产线。他们实现了“有机合成—高分子合成—精制纯化—光刻胶混配”全链条自主制备。
这家企业叫鼎龙股份。近日他们官宣了这一成果,称这是国内首条全流程自主高端光刻胶产线。从原料、设备到生产制备,全部可控,彻底甩开了上游依赖进口的包袱。
目前,该产线年产能为330吨,纯度高达99.999%。这是国内单体规模最大的高端光刻胶产线,足以满足3到5条12英寸晶圆产线一整年的需求。
这条线能产KrF/ArF高端光刻胶,覆盖范围从90nm到28nm制程节点。往后说不定还能扩展到14nm等更先进工艺。
看到这儿,日本企业估计最慌。毕竟他们长期垄断这行,靠这点优势制裁过不少人,之前还放话要断供来威胁我们。
如今中国企业搞出了自主可控,有了突破。凭中国制造的优势,未来产能只会越来越高,性能更强,成本更低。在全球拿下更多份额只是时间问题。到时候,日本企业该怎么应对,就看他们的本事了。
